ЧЕРНЯЕВ АЛЕКСАНДР ВЛАДИМИРОВИЧ

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик Р1)М К з Н 04 R 21/00 Государственный комитет СССР но делам изобретений н открытий (23) Приоритет f53) УДК 534.232 (088.8) Опубликовано 15.02.82. Бюллетень N9 б Дата опубликования описания 150282 (72) Авторы изобретения T.Ï. Чернецкий и A ° Â. Черняев (73) Заявитель (54) спОсОБ изГО...

  Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для изготовления интегральных элементов микроэлектронных устройств. Цель изобретения - снижение сопротивления контакта и повышение его стабильности. Цель достигается тем, что на кремниевые структуры электронно-лучевым испарением в вакууме при температуре подложки 270°С наносят пленку алюминия толщиной 60±...