ШОКОТЬКО С.П.

  1. ИСТОЧНИК ИОНОВ содержащий газоразрядную камеру и систему формирования ионного пучка, образованную перфорированными эмиссионным, ускоряющим и кольцевым замедляющим электродами, о тличающийс я тем, что, с целью повышения наг дежности источника при работе на химических активных газах, ускоряющий электрод дополнительно содержит со стороны замедляющего электрода цилиндрическую част...