МОЧАЛОВ БОРИС ФЕДОРОВИЧ

  (72) Авторы изобретения Б.Ф.Мочалов, А.А.Фомин и В.И.Кузнецов (7!) Заявитель 1 ! Московский институт электронной техники(54) КАТОДНЫИ УЭЕЛ Изобретение относится к нанесению тонких диэлектрических пленок путем ионного распыления материала в вакууме. Известен катодный узел, преимущественно для ионно-плазменного нанесения диэлектрических пленок в вакууме, еодержащее катод-мишен...