ФАТЕЕВ НИКОЛАЙ АЛЕКСЕЕВИЧ

  .l А.С.Валеев, Е.В.Дмитриев, В.Б.Дубовико Д.Б.Дубовиков, В.Л.Евдокимов, В.И.Иван Н.А.Фатеев, И.Ш.фишель и В.A.Õðóñòàëåâ (72) Авторы изобретеиия (7l ) Заявитель (54) ВАКУУМНЫЙ КЛАПАН Изобретение относится к оборудо,ванию, которым оснащаются системы для достижения вакуума, и может быть использовано в оборудовании,применяемом для получения микросхем, оптических и других деталей...

  Изобретение относится к элементам газовой арматуры для физико-термического оборудования и может быть использовано в эпитаксиальном, диффузионном, п/;ззмохимическом и вакуумном оборудовании. Целью изобретения является повышение надежности работы путем обеспечения равномерности распределения усилия герметизации и устранения самовозбуждения затвора. Обратный клапан обеспечивает герм...