ЛЫТКО ЛЕОНИД НИКОЛАЕВИЧ

  А.Ф. Каннцее, В.В. Кунса, Н.В. Румен, А.Г. Черных, Л.Н.. Лытко, Г.М. Туманов и Н.А. Гордеев (72) Авторы изобретения (2l) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ, ПРЕИМУЩЕСТВЕННО НА ОСНОВЕ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ Изобретение относится к технике изготовления интегральных схем, в частности для изготовления комплеметарных на основе металл-окиселполупро...