КУДИНА А.В.

  СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МДП ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ, включающий стравливание нитридной маски и акисного подслоя с активных областей МДП интегральных схем и формирование подзатворного окисла, отличающийс я тем, что, с целью повышения процента выхода годных схем путем устранения низковольтных пробоев подзатворного окисла, перед формированием подзатворного окисла проводят дополнительную обраб...