КРАСИЛЬНИКОВ АНДРЕЙ БОРИСОВИЧ

  ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сетев. Севетсиик Сециаянстичасиик Рвснубнни и 929680 (61) Донолннтельное к авт. саид-ву (22)ЗаЯвлено 21.12.79 (21) 2856509/23-26 (51)М. Кл. с присоединением заявки М С 09 К 3/14 тввуаврствеккмв квинтет CCCP N деяем кэвбретенк1 в вткрытв11 (23) Приоритет .Онубликовано 23,05. 82. Бюллетень ¹ 19 (53) УДК 667..634 ° 7(088.8) Д...

  Изобретение относится к технике электронной микроскопии и может быть использовано в технологии полупроводников, Целью изобретения является повышение оперативности и качества электронномикроскопических исследований процессов молекулярно-дучевой эпитаксии непосредственно в приборе за счет обеспечения более чистых условий взаимодействия молекулярного пучка с образцами и вариации эти...