РЕБРОВ ВЛАДИМИР ПЕТРОВИЧ

  ОП ИСАЙИ Е Союз Советскнк Социалистическнк Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6 I ) Дополнительное к авт. свил-ву (22) Заявлено 01.07. 80 (2l ) 2949793/18-10 с присоединением заявки М (23) П риоритет Опубликовано 07.06.82. бюллетень М 21 Дата опубликования описания 07.06.82 (5! )М. Кл. G 03 В 27/20 9вударстааей каетвт CCCP яв ааааи яэебувтеяя11 я отярытя11 (53) УДК 778...

  Изобретение относится к очистке плоских деталей, преимущественно полупроводниковых пластин, и позволяет повысить качество и производительность очистки. Согласно способу воздействие струй моющей жидкости и азота осуществляют под углом к очищаемым поверхностям, равным α=ARCSINH/D, где D - диаметр пластин H - расстояние между пластинами в кассетах, при этом в процессе очистки д...