СИДОРОВА ЛЮДМИЛА КОНСТАНТИНОВНА

  (71) Заявитель (54) ПОЛИРОВАЛЬНЫЙ СОСТАВ ДЛЯ ОБРА60ТКИ ГЕРИАНИЕВЫХ ПЛАСТИН Изобретение относится к полупроводниковой технике, в частности к технологии полировки полупроводниковых пластин. Ф т Известен полировальный состав для обработки германиевых пластин, содержащий водный раствор горчицы, углекислый аммоний, перекись водорода и абразивный наполнитель-аэросил (1). Однако...