ЦОПКАЛО НИКОЛАЙ НИКОЛАЕВИЧ

  ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советскил Социапистическик Респубттик ()940089 (6l ) Дополнительное к авт. саид-ву (22)Заявлено 11.07.80 (21) 2980111/18-21 с присоелииением заявки Рй— (2В) Приоритет— (51) М. Кл. С О1 R 31/26 Ьеударетеелный камитет СССР ло делам взобретений н открытий Опубликовано 30 06.82. Бюллетень № 24 (53) УДК621 382. .002(08...

  (72) Авторы изобретения Н, Н. Бопкало и А. М. Светличный 3 -" t Таганрогский радиотехнический институт им. 5. Д. Калмыкова а -"а- Ъ (7I ) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ДИФФУЗИОННЫХ И ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ Изобретение относится к измеритель= ной технике и может быть использовано для межацерационного контроля толщины, диффузионных и эпитаксиальных слоев полупроводни...

  СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК (l9) (И) (5g) g (: 01 R 1/06 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ t ) ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3673797/24-21 (22) 20.12.83 (46) 23.01.86. Бюл. ¹ 3 (71) Таганрогский радиотехничес-, кий институт им. В.Л.Калмыкова (72) Н;Н.Цопкало, Е.Г.Утишев, В.Г.Ли и В,Н.Нозиков (53) 621.382.752(...

  Использование: электроизмерения при контроле полупроводниковых пластин. Сущность изобретения: зонд с нанесенным покрытием помещают в вакуумную камеру и нагревают потоком ускоренных электронов. При этом зонд включают в анодную цепь и размещают вблизи вольфрамового катода. 2 ил. СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ ПР...