ХАН ЭБЕРХАРД

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВМДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик )940256 ® / ° ,Ф "г (89) 143582 ГЛР (6I ) Дополнительное к авт. свид-ву 1 (5I ) M. Кл. (22) Заявлено 19. 12, 78 (21) 7770391/18-21 (23) Приоритет - . (32) 19.01.78 (31) MP Н01.3/203296 (33) ГДР Опубликовано 30 . 06 . 82 . Бюллетень Рй 24 Дата опубликования описания 02, 07. 82 Н 0...

  1. Способ корпускулярного облучения подложки, включающий обработку поверхности электронным пучком , структурированным в соответствии с рисунком, отличающийся тем, что, с целью повышения скорости обработки, структурирование пучка осуществляют путем проекционного экспонирования на подложку рисунка, набранного установкой электрических и/или магнитных полей в запоминающем устройстве....

  Изобретение относится к лучевой технологии. Может использоваться для структурирования интенсивности пучка корпускулярных лучей, направленного на мишень, для обработки изделия, в частности в электроинолучевых приборах для микролитографи СОЮЗ СОВЕТСНИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ РЕСПУБЛЧН ÄÄSUÄÄ 1287244 А1 (51)4 H 01 J 37/30 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ, Н АВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕ...

  Изобретение относится к элионной технике, в частности к электронному облучению мишени,и может быть использовано, в частности, в эле- .-лучевых приборах для микролитографического структурирования тонких слоев при изготовлении конструктивных элементов с размерами в субмикронном диапазоне. Способ корпускулярного облучения мишени реализован в устройстве, содержащем электронную пушку...