БОРОДИН СЕРГЕЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ

  Союз Советски к Соцмапиетичеекик Республик ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ()942118 (61) Дополнительное к авт. свнд-ву (22) Заявлено 05.03.19 (2l) 2753578/18-24 с присоединением заявки № (23) П рноритет Ф Опубликовано 07.07.82. Бюллетень № 25 Дата опубликования описания 07.07 .82 (51)М. Кл. G 08 G 5/00 3Ьеудеретеенеый кемнтет СССР ло делам нзобретеннй...

  Использование: в производстве интегральных микросхем на пассивных и активных подложках. Сущность изобретения: устройство содержит дозатор капель рабочей жидкости, источник света, фотодиод, регистрирующий отраженный от исследуемой поверхности световой поток и подключенный к пиковому вольтметру через дифференцирующую цепь. 1 ил. СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК (я)з...

  Использование: относится к технологии нанесения покрытий в вакууме для получения тонких пленок многокомпонентных материалов . Сущность изобретения: испаритель многокомпонентных материалов содержит корпус и заслонку в виде равновысотных внешнего и внутреннего стаканов, коаксиально установленных навстречу с возможностью возвратно-поступательного перемещения заслонки относительно ко...