Кияшко С.Н. (RU)

 Изобретение относится к оптическим измерительным устройствам, в частности к способам и средствам оптической профилометрии и/или профилографии. Способ заключается в том, что предварительно сканируют световым пучком эталонную поверхность, а затем по тем же траекториям сканируют исследуемую поверхность. При этом последовательно сканируют исследуемую и эталонную поверхности двумя световыми пу...