ФИНАРЕВ МИХАИЛ СЕМЕНОВИЧ

  947641 30 50 чаев необходимо проводить измерения на различных углах падения светового пучка на образец. Цель изобретения - повышение удобства и производительности измере;, ния. Поставленная цель достигается тем, что в эллипсометре для измерения толщины и оптических свойств образцов, содержащем тубус падающего света и тубус отраженного света, установленные под углом друг...