ЧЕНАКИН СЕРГЕЙ ПЕТРОВИЧ

  С П И С А Н И Е 949270 Союз Советских Социалистических Республик ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6I) Дополнительное к авт. саид-ву— (22) Заявлено !9.12.80 (21) 3220702/25-08 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— V l6 К 3/08 Гюеударствелный комитет СССР IIo делам лзююретений и юткрмтий Опубликовано 07.08.82. Бюллетень Л" 29 Дата опубликования описания 17...

  СПОСОБ МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКОГО ПОСЛОЙНОГО АНАЛИЗА ТВЕРДЫХ ТЕЛ, включаюпщй воздействие на объект пучком первичных ионов, разделе ние и последующую регистрацию вторичных ионов, отличающийс я тем, что, с целью повышения послойного разрешения без снижения концентрационной чувствительности или локальности анализа, воздействие на объект осуществляют пучком ионов I водорода (протонами...

  Изобретение относится к области масс-спектрометрии вторичных ионов и может быть использовано для концентрационных распределений элементов по глубине в массивных объектах и тонких пленках, а также для изучения диффузионных процессов. Цель изобретения - повышение точности послойного анализа. Образцы из твер-: дых веществ, например окиси кремния и монокристаллического кремния, подве...

  Изобретение относится к массспектрометрии вторичных ионов. Может быть использовано для элементного и фазового анализа твердых ветцеств. Целью .изобретения является повьшение точности анализа. Способ предусматривает легирование твердого вещества (ТВ) известным количеством заданного элемента, бомбардировку его пучком первичных ионов, масс-анализ и регистрацию потоков вторичных ионо...

  Использование: относится к масс-спектрометрии вторичных ионов и может быть использовано для количественного анализа примесей в твердых телах. Сущность изобретения: в масс-спектрометрическом спо собе анализа, заключающемся в ионно-лучевом легировании твердого тела известным количеством определяемого элемента , распылении ионно-легированного слоя пучком первичных ионов и определени...