Григоров А.И.

 (19)SU(11)950167(13)A1(51)  МПК 6    H05H1/24(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.12.2012 - прекратил действиеПошлина: (54) ВАКУУМНОЕ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНОЕ УСТРОЙСТВО Изобретение относится к плазменной технике, представляет собой средство для получения в вакууме потока электроэрозионной плазмы и может быть использовано для раз...

 (19)SU(11)1061686(13)A3(51)  МПК 5    H05H1/00(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк патентуСтатус: по данным на 27.12.2012 - прекратил действиеПошлина: учтена за 5 год с 02.07.1995 по 01.07.1996(54) СПОСОБ ГЕНЕРАЦИИ ПОТОКА ПЛАЗМЫ Изобретение относится к плазменной технологии и может быть использовано для обработки поверхности изделий, с целью придания ей специальных сво...

 Устройство для вакуумно-плазменного травления, содержащее вакуумную камеру с размещенными в ней механизмом перемещения подложкодержателей и планарной системой электродов, подключенных к источнику ВЧ-мощности, систему газообеспечения, отличающееся тем, что, с целью повышения качества и производительности травления путем устранения загрязнения камеры продуктами износа трущихся частей, механ...