ФРИД МИХАИЛ ИОСИФОВИЧ

  Союз Советских Социалистических Республик Ол ИСАНИЕ (1и951017 ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 19.11.80 (21) 3007188/29-06 с присоединением заявки.%— (23) Приоритет— (5! )М. Кл. F 24 F 7/06 В 08 В 15(02 Ьеударстванньй квинтет СССР нв делам нзабретеннй и открытий Опубликовано 15.08 82. Бюллетень М30 Дата опубл...

  Изобретение относится к радиометрическим методам измерения толщины и может быть использовано в микроэлектронике и приборостроении. Цель изобретения - повышение точности за счет обеспечения одновременного измерения интенсивности как для неослабленного излучения, так и излучения, прошедшего через образец, одним и тем же координатно-чувствительным детектором (КЧД). В устройстве в ка...