НЕМЦЕВА НИНА СТЕПАНОВНА

  OllИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ и953733 Союз Советских Социдпистических Республик (6l ) Дополнительное к авт. свид-ву (51)М. Кл, Н 03 К 19/20 (22) Заявлено 14;11.80 (2! ) 3004267/18-21 с присоединением заявки М 3004266/18-21 Эеудвретеениы1 квинтет СССР ае лелем яэабретеккй и открмткй (23) Приоритет Опубликовано 23.08.82. Бюллетень № 31 (533 УДК 621. . 374...

  Изобретение относится к области электронной микроскопии, в частности к способам измерения диаметра электронного зонда в растровом электронном микроскопе. Цель изобретения - расширение функциональных возможностей способа - достигается путем расширения диапазона измерений в сторону увеличения энергии электронов зонда при сокращении точности. Используют объект с выступами прямоугольн...