Чернявский А.В.

 Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения распределения компонент тонкопленочных структур. Тонкую пленку наносят на подложку, на тонкую пленку накладывают металлическую диафрагму с отверстием, подложку с диафрагмой помещают в масс-спектрометр, снимают временной спектр вторичных ионов, определяют распределение компонент тонкой пленки по глубине...

 Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники и может быть использовано для определения концентрации металлосодержащих аэрозолей в воздушной атмосфере. Сущность изобретения состоит в том, что в воздушную атмосферу помещают ионообменник, в качестве которого используют кристалл щелочно-галоидного кристалла, проводят концентрирование аэрозолей в объеме ионообменника, после...