СОЛОГУБ В.А.

  УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ, содержащее реакционную камеру, нижний элект род, верхний электрод, систему подачи и отвода реакционных газов, источник энергии, устройство для перемещения обрабатываемых пластин, отличающееся тем, что, с целью повыиения производительности плазмохимических процессов и упеличения выхода годных изделий, устройство для перемещения...

  СПОСОБ Ш1АЗМОХИМИЧБСКОЙ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН, включающий откачку реакционного объема , загрузку рабочих пластин через шлюзовое устройство, напуск реакционных газов, возбуждение ВЧ-разряда, обработку поверхности пластин газоразрядной плазмой, отличающийся тем, что,,с целью повышения производительности обработки и повьшения надежности работы оборудования , после Напу...

  УСТРОЙСТВО УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССОМ ПЛАЗМОХЙМИЧЕСКОЙ ОВРАВОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН, содержа:щёе первый фотоэлектрический преобгрАзователь и компаратор, о т Л и , . 14 а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности фиксаций момента .окончания плазмохимической обработ-: ;ки, в .него дополнительно введены вто -рой фотоэлектрический преобразователь , интегратор, генератор, исто...