ГУЩИН О.П.

  УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ, содержащее реакционную камеру, нижний элект род, верхний электрод, систему подачи и отвода реакционных газов, источник энергии, устройство для перемещения обрабатываемых пластин, отличающееся тем, что, с целью повыиения производительности плазмохимических процессов и упеличения выхода годных изделий, устройство для перемещения...

  СПОСОБ Ш1АЗМОХИМИЧБСКОЙ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН, включающий откачку реакционного объема , загрузку рабочих пластин через шлюзовое устройство, напуск реакционных газов, возбуждение ВЧ-разряда, обработку поверхности пластин газоразрядной плазмой, отличающийся тем, что,,с целью повышения производительности обработки и повьшения надежности работы оборудования , после Напу...