КАЗАРЦЕВА ЛАРИСА АЛЕКСЕЕВНА

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Соеетскнк Социалистических Республик и>958413 л (А в.-, (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 04,07,80 (21) 2984765/23-04 t $1 } M. Кл. с присоединением заявки ¹ С 07 С 143/68 Государственный комитет СССР по. делам изобретений и открытий (23) Приоритет (З) УДК 547 ° 541..05(088.8) Опубликовано 150982, Бюллетен...

  Сущность: в реактор загружают алкилфенол и формальдегид при их мольном соотношении 1:(0.6-1), бензолсульфокислоту (катализатор) и проводят конденсацию при 60-100°С в течение 2-10 ч в среде уксусной кислоты или смеси изопропилового спирта и серной КИСЛОТУ при их массовом соотношении 10:1, выделение смолы проводят на охлажденную до 5-10°С дистиллированную воду, смол...

  Область использования: в микроэлектронике . Сущность изобретения: позитивный термостойкий фоторезист содержит, мас.%: крезолоформальдегидная смола новолачного типа 19,45-23,1: смесь 1,2-нафтохинондиазид- (2)-5-сульфоэфир метиленбис-{2,4)-диоксибензофенона 4.4-8,24: 1,2- нафтохинондиазид-(2)-5-сульфоэфир 2,4-диоксибензофенона 2.06-2,2 или смесь 1,2-нафтохинондиазид-(2)-5-сульфоэфи...