МАРАСАНОВ ВАДИМ АЛЕКСАНДРОВИЧ

  Союз Советскик Социапистичесииа Ресгублии К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) fl,îàîëíèòåëüèîå к авт. саид-ву (22) Заявлено 13. 02. 81 (21) 3249011/18-21 (51)М. Кл. с присоединением заявки,рш G 0l R 33/06! G Ol R 31/26 3Ъаударстааниыа камитат СССР ио дилан изоаратеиий и открытий (23) Приоритет Опубликовано 23. 09. 82 Бюллетень М 35 (53) УДК 621. 382. .2{088.8) Дата опубликовани...

  Изобретение может быть использовано для измерения электрофизических свойств полупроводниковых материалов . Цель изобретения - повышение точности измерения. Зонды расположены в V-образных пазах кремниевой пластины с изоляцией. Пружины, изолированные прокладками, прижимают зонды к стенкам пазов. Токосъемные втулки зондов прижаты к электрической прокладке . Выполнение V-образных паз...