ТУРОМША ЕВГЕНИЙ ПЕТРОВИЧ
Изобретатель ТУРОМША ЕВГЕНИЙ ПЕТРОВИЧ является автором следующих патентов:
Способ фотолитографии (его варианты)
ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ, К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик ()966655 (61) Дополнительное к авт. свид-ву / (22)Заявлено 26.11.80 (21) 3009007/18-21 с присоединением заявки № (23) Приоритет— (53)М. Кл. 6 03 F 7/26 G 03 F 7/20 9мударстеенный квинтет СССР по деяаи изабретений и открытий (53) УДК 621.382. .002 (088.8) Опубликовано 15.10.82....
966655