КАРПЛЮК АЛЕКСАНДР ИВАНОВИЧ

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союэ Советскик Социалистическик Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заявлено 011080 (21) 3212808/28-13 (51 t М. КП. A 61 Н 39/00 с присоединением заявки ¹â€” (23) ПриоритетГосударственный комитет СССР по делам изобретений н открытий ° Опубликовано 231182. Бюллетень ¹ 43 (53) УДК 615.475 (088.8) Дата опубликования...

  Использование1 контрольно-измерительная техника, в частности дефектоскопия полированной поверхности полупроводниковых пластин и оптических деталей. Сущность изобретения, устройство содержит лазер (1), сканирующее устройство (2), фотоприемник (4), синхронизатор 6, 4 запоминающих устройства (7, 9, 13, 14), блок 8 счета и отображения информации, компаратор (12), элемент И (10), филь...

  Изобретение относится к области анализа материалов с помощью электрических средств и может быть использовано в микроэлектронике в технологии ионного легированияпри изготовлении МДП-интегральных схем с многоуровневыми пороговыми напряжениями. Целью изобретения является повышение точности определения малых доз ионного легирования. Тестовые структуры предварительно легируют ионной и...