ПЕРВУШИН ВИКТОР ЯКОВЛЕВИЧ

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТИЗЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик < >978401 (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 22.06.81 (21) 3305800/18-21 РЦМ Кй, з Н 05 К 13/00 Н 05 К 13/02 Н 01 L 21/68 с присоединением заявки Ио Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий (23) Приоритет (33) УДК 621.798.. 1(088. 8) Опубликовано 30...

  ДЕРЖАТЕЛЬ ДЛЯ ПОДЛОЖЕК, содержащий стол с полостью, соединенной с каналом вакуумного отсоса, и опорную поверхность ий эластичного материала с углублениями, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности фиксации подложек , он снабжен размещенной над полостью стола эластичной пленкой с элементами регулировки ее натяжения, Ia углубления на опорной поверхности выполнены в виде...