Сердюк С.Г.

 1. Интерферометр для контроля прямолинейности и плоскостности поверхности объекта, содержащий источник монохроматического света, телескопическую систему, расширяющую световой пучок и включающую микрообъектив, светоделитель, коллиматорный объектив и светоделительную дифракционную решетку, плоскую отражательную дифракционную решетку, отстоящую от светоделительной дифракционной решетки на ра...