ГРИЩЕНКО ЛЮДМИЛА БОРИСОВНА

  В. С. Суздаль, Ю. М. Епифанов, Н. И. С П. И. Корннлич и Л. Б. Грищенко (72) Авторы изобретения (7I ) Заявитель (54) ЦИФРОВОЕ ЗАДАЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО Изобретение относится к области прецизионных средств программного управления технологическими процессами, в частности к системам управления технологическими процессами получения монокристаллов. При выращивании и отжиге монокристалло...