САВКИН АЛЕКСАНДР СЕРГЕЕВИЧ

  ««Ф « (72) Авторы изобретения В. В Рыбалко, В. М. Белоусов, А. Н. Тихонов и A. С. Савкин I (73 ) Заявитель Московский институт электронного машиностроен,ия (54) ИМПУЛЬСНЫЙ КОРПУСКУЛЯРНЫЙ МИКРОСКОП; Изобретение относится к микрозондовой технике,в частности к устройствам и их элементам для формирования и ана лиза изображений объектов. Известен импульсный корпускулярный микрос...

  СПОСОБ ЩКРОАНАЛИЗА ГЕТЕРОФАЗНЫХ ОБЪЕКТОВ а включакщий облучение исследуемого участка электронным зондом, формирование его изображения , регистрацию и измерение характеристического излуче1шя , отличающийся тем, что, с целью повышения точности анализа, после формирования изображения исследуемого участка изме11яют форму и размеры поперечного сечения электронного зонда по форме и раз...

  1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОЙ ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ, включающий нанесение на несущие диэлектрические пластины резиста, облучение резиста электронным пучком, последующее травление и сборку, отличающийся тем, что, с целью повышения точности изготовления, облучение и травление осуществляют после сборки пластин . 2. Способ по п. 1, о т л и ч а ющ и и с я тем, что...