ГУМЕРОВ НИЛ МАРГАЗЬЯНОВИЧ

  С. Д. Островка, В. Б. Нойсс, Й. А„ .Щманов й"Нф. Гумеров (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) КОМБИНИРОВАННЫЙ МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ ГЕТТЕРНО-ИОННЫ Й НАСОС Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для откачки электровакуумных и электрофизических приборов, при напылении тонких металлических пленок путем испарения, в ускорителях элементарных частиц и...