ВОЛЫНЧИКОВА Л.Ф.

  СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНЖЕКЦИОННЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ, включающий эпитаксиальное наращивание кремниевого монокристаллического слоя П-типа проводимости на подложку п типа проводимости, формирование, с помощью маскирования и внедрения примесей областей р -активной и р -пасвСЕСОГОЗ 13 3 сивной 6a3j одновременное формирование h -областей коллектора п-р-п транзистора и п -резисторов,созд...