ЯНЧЕНКО АЛЕКСАНДР МИХАЙЛОВИЧ

  ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик (»)995029 К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6l ) Дополнительное к авт. свнд-ву— .(22) Заявлено 29. 09. 81 (21) 3341 350/18-21 с присоединением заявки М(23) ПриоритетОпублнковано 07.02.83. Бюллетень _#_((5 Дата опубликования описания07.02.83 (5!)М. Кл. G 01 R 31/26 Гасударственный комитет ао делам нзобретеннй и отк...

  Изобретение относится к растровой электронной микроскопии полупроводниковых объектов и может быть использовано для визуализации и измерения распределения времени жизни неравновесных носителей заряда по поверхности этих объектов. Целью изобретения является расширение функциональных возможностей растрового электронного микроскопа при обеспечении неразрушающего характера измерений....