ГЕЛЬМАН ЮРИЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ

  ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик (» ) 1000593 (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 27.04.81 (21) 3284223/25-06 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (5)) М ) л з F 04 В 37/02 Гасударственный кемнтет (53) У ЧК 621.528.3 (088.8) Опубликовано 28.02.83. Бюллетень ¹8 Дата опубликования описания...

  Сущность изобретения: установка содержит рабочую камеру 1 и вакуумпровод 3 с несколькими патрубками 5. Оси патрубков расположены в одной плоскости, перпендикулярной оси вакуумпровода. На патрубках установлены высоковакуумные насосы 7 с затворами 8. Диаметр вакуумпровода соответствует зависимости DB 1114VO/I- 2 Si Ui/Si + Ui. 2 ил. i 1 СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛ...