Карачинов В.А.

 Изобретение относится к технологии электронного приборостроения, а именно к способам размерного профилирования кристаллов карбида кремния, и может быть использовано в микросистемной технике, оптоэлектронике и т.п. Сущность изобретения: предложен способ получения трубчатого кристалла карбида кремния, включающий сублимацию карбида кремния вдоль профилирующего стержня в ростовую полость, пер...

 Использование: в технологии электронного приборостроения, а именно в способах размерного профилирования кристаллов карбида кремния для получения структур различной конфигурации. Сущность изобретения: способ эрозионного копирования карбидокремниевых структур, включающий создание на одной из сторон подложки электропроводящего слоя с проводимостью не менее 710-1 Ом-1см-1 и последующее иниции...

 Изобретение относится к технологии электронного приборостроения. Предложен способ резки объемных монокристаллов карбида кремния, включающий инициирование электроискрового разряда в водной среде между кристаллом и металлическим электродом. При этом перед инициированием электрического разряда на поверхности кристалла создают короткозамкнутый виток, а электрический разряд инициируют в криста...