МИХАЛЕВ НИКОЛАЙ ИВАНОВИЧ

  1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ КИНЕТИКИ РАСТЮРЕНИЯ ТВЕРДЫХ ВЕЩЕСТВ, включающее пррбодержатель, сосуд с растворителем и аналитические весы, отличающееся тем, что, с целью повышения точности исследования за счет непрерывной фиксащ1И весовых потерь и скоросте весовых потерь растворяемого вещества, прободержатель снабжен штангой-термопарой, п(жредством которой укреплен на аналитическ...

  Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано в промышленных условиях, а также в лабораторной практике для контроля травления нарушенного после механической обработки слоя полупроводниковых структур и определения момента его полного стравливания. Целью изобретения является повышение точности определения момента окончания травления нарушенного слоя. Ус...