КОРЕШКОВ ГЕННАДИЙ АНАТОЛЬЕВИЧ

  УСТРОЙОТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕЦ НИЙ повЕрхнсх:ти ОБЪЕКТА, содерясащее посяедователыю расположенные вдоль сштической оси лазер , расширитель {сэлучения, светодел тель, первый и второй плоские отражатели , светофильтр, пе1шый 11оля1жза1шонный элемент, третий плоский отражатель, регистратсф, второй поляризационный элемент и четвертый плоский отражатель, о т л и ч а ю ш е е с я ем,...

  СОЮЗ СОВЕТСНИХ »ИЛИ» РЕСПУБЛИК sm ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ГЮ ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ . ../ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 4m а= 2п (21) 3415737/25-28 (22) 31.03,82 (46) 07 09.83. Бюл. 8 33 (.72) А.К.Полонин, H.Т.Квасов, А.Н.Мотуз и Г.А.Корешков .(53) 531.7:531.14(088.8) (56) 1. Иориш Ю.И . Виброметрия. М., Машиностроение", 1963, с. 771, 2. Автор...

  СПОСОБ КОНТРОЛЯ МЕХАНИЧЕСКИХ НАПРЯ}1ШНИЙ В ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ПЛАСТИНЕ, заключающийся в том, что воз ждают изгибные коле, бания noJ ynpoBomiHKOBoft пластины и измеряют первую и вторую резонансные частоты, по которым вычисляют искомые параметры, отличающийс я тем, что, р целью повышения точности контроля, обеспечения возможности контроля концентрации и глубины залегания примеси, за...

  Изобретение относится к технологии обработки и производству сверхбольших интегральных схем. Оно может быть использовано для плазменного осаждения пленки нитрида кремния. Целью изобретения является повышение качества пленки нитрида кремния за счет увеличения электрической прочности, улучшения зарядовых характеристик, снижения дефектности и механических напряжений. Цель достигается...