ПАНКРАТОВ А.Л.

  СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ВЗАИМОДОПОЛНЯЮЩИХ МДП ПРИБОРОВ, включающий окисление полупроводниковой пластины первого типа проводимости , вскрытие в окисле окон под область кармана и проведение в эту область легирования полупроводника примесью второго типа проводимости , снятие окисла, окисление полупроводника и нанесение на него слоя нитрида кремния, вскрытие в нем областей под охранение...