ГУК ГАЛИНА НИКОЛАЕВНА

  ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫЙ ТЕНЗОРЕЗИСТОР , содержащий чувствительный элемент из монокристаллического карбида кремния, изолирующую пленку и связующего между ними, отличающ ии с я тем, ЧТ.О, с целью повышения точности измерения деформаций, пленка связующего выполнена из малолегированного кремния толщиной ,0 1 -0 15мкм. Изобретение относится к иэмерите .льной технике и может быть использов...