ЧАКУШИН АНДРЕЙ ЭНВАРОВИЧ

  СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИН (2% (222 д(5р G 01 В 21/00 I (ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ Н ABTOPCHOMV СЮЩЕтваатви (21) 3400970/18-28 (22) 19.02.82 (46) 23.06.83. Бюл. И 23 (72) И.ф. Зарипов, И.В. Петрова, Д.И, Ииркамилов, С.С. Нигматходжаев . и A.Ý. Чакушин (71) Ташкентский ордена Дружбы наро" дов политехничес...

  ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ, содержащий корпус и полевой транзистор с истоком и стоком, о тличающ и и с я тем, что, с целью повышения чувствительности, в нем упругая мембрана выполнена в виде полупроводниковой пластинки, на которой сформированы области истока и стока и покрыты диэлектрической пленкой, причем исток и сток выполнены в виде двух неперекрьшающихся между собой групп секторов, рас...