Шило В.П.

 (19)SU(11)1026564(13)A1(51)  МПК 5    G03F1/00G03C5/00(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 27.12.2012 - прекратил действиеПошлина: (54) ФОТОШАБЛОН И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ Изобретение относится к полупроводниковой технике и микроэлектронике, а конкретно к разработке и изготовлению высокоразрешающих фотошаблонов для полупров...