Лантратова С.С.

 (19)SU(11)1026564(13)A1(51)  МПК 5    G03F1/00G03C5/00(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 27.12.2012 - прекратил действиеПошлина: (54) ФОТОШАБЛОН И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ Изобретение относится к полупроводниковой технике и микроэлектронике, а конкретно к разработке и изготовлению высокоразрешающих фотошаблонов для полупров...

 Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме. Цель изобретения - расширение технологических возможностей процесса. На проводящее основание через трафарет наносилась суспензия из оксидного стеклообразного материала с дисперсностью частиц порошка 150 . . . 200 мкм и температурой размягчения Tg1 = 640С. После высушивания мишень оплавлялась при температуре 740С в течение 30 ми...