ВОЙТЕХОВ АЛЕКСАНДР НИКОЛАЕВИЧ

  1. Способ определения толТданы проводящих пленок в процессе их напыления , заключаюстйся в том, что направляют поток напклляемого материала . на рабочие подложки и образец i свидетель и измеряют сопротивление напыляемой пленки на образце - сви:детеле , отличающийся , что, с целью повьпаения точности определения толгданы, периодически перекрывают поток напыляемого мате ,риала над...