КАРПОВА СВЕТЛАНА АЛЕКСАНДРОВНА

  (ЩОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РИСУН , КА, вюшчзкмдай нанесение на подложку слоя фоторезиста, формирование в нем зацитного рельефа методом фотолитог. рафии, предварительное тргшление па|Дложки, Т(рыооОЕ а6отку до размягчения защитного рельефа к окончательное Т1 а8яе{1 е , отличающийся тем, что, с целью повыиения раэрешакнкей способности npooficca, тер «х бработку проводят в парах дмлетипформам...