СОКОЛОВА СВЕТЛАНА ЕВГЕНЬЕВНА

  (ЩОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РИСУН , КА, вюшчзкмдай нанесение на подложку слоя фоторезиста, формирование в нем зацитного рельефа методом фотолитог. рафии, предварительное тргшление па|Дложки, Т(рыооОЕ а6отку до размягчения защитного рельефа к окончательное Т1 а8яе{1 е , отличающийся тем, что, с целью повыиения раэрешакнкей способности npooficca, тер «х бработку проводят в парах дмлетипформам...

  СОЮЗ CGBETCHHX СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3814176/29-33 (22) 12.09.84 (46) 15.05.86. Бюл. № 18 (71) Государственный всесоюзный научноисследовательский институт строительных материалов и конструкций им. П. П. Будникова (72) Г. В. Лапшин и С. Е. Соколова (53) 66...