КАЙБИН СЕРГЕЙ ИВАНОВИЧ

  1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПЛЕНКИ, НАНЕСЕННОЙ НА ПРОВОДЯУЮ ПОДЛОЖКУ, содержащее держатепь емкостшлй {фвофазователь, оакн из электродов ютторого закреплен на держателе , и соединенвый с щ}еофазова е nsM блок измершшя емкости отличающееся тем, что, с целью ; повышения точности йзкюрения толщины тонких плевок О, О15 3 мкм с большой пористостью и повышения ст...