ОБУХОВ ВЛАДИМИР АЛЕКСЕЕВИЧ

  1 .ИСТОЧНИК ИОНОВ,содержащий газоразрядную камеру, образованную цилиндрической боковой, запней и перфорированной передней стенками, выполненными из немагнитного матеоиала , ВНУТРИ котооой оазмещены катод и анод, ионно-оптическую систему, установленную со стороны передней стенки камеры, внешнюю по отношению к камере многополюсную магнитную систему, полюса которой расположены вдоль...

  Изобретение относится к ионно-плазменной технологии, а более точно - к установкам для ионно-лучевой обработки поверхности деталей в вакууме. Сущность изобретения заключена в следующем В об ласти закрепления детали в вакуумной камере создается зона торможения ионов потока встречным по отношению к скорости ионов электрическим полем вблизи обрабатываемой поверхности детали. Устройст...