ДИКАРЕВ В.И.
Изобретатель ДИКАРЕВ В.И. является автором следующих патентов:
Способ ионно-химического травления кремнийсодержащих диэлектрических пленок на кремниевых подложках
(5i)-, H 01 Т, 21/306 СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛ И СТИЧ ЕСКИХ РЕСПУбЛИК ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ ВЕДОМСТВО СССР (ГО СПАТЕ НТ СССР) (21) 3366057/25 (22) 09. 11.ц1 (Аб) 15.07.93. Бюл. l" 26 (72) Н,П.Бутырин, B.H.Ликарев и А.И.Красножон (56) Авторское свидетельство СССР И 749293, кл. Н 01 1. 21/306, опубл. 1978, (54)(57) СПОСОБ ИОННО-ХИИИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМН1!ИСОЛЕРИАР,ИХ ЛИЭ...
1040980