ТРЕГУБОВ В.Ф.

  ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ТЕСТОВАЯ МИКГОСТВУКТУРА ДПЯ ИНТЕГРАЛЬНОЙ СХЕМЫ , содержащая полупроводниковую подложку , последовательно расположенные на ней диэлектрические и проводящие слои, повторяющие структуру интегральной схемы, отличающаяс я тем, что, с целью повьшения ; точности технологического контроля микрогеометрии элементов слоев интегральных схем, она выполнена так, что одна част...