САЖНЕВ СЕРГЕЙ ВИКТОРОВИЧ
Изобретатель САЖНЕВ СЕРГЕЙ ВИКТОРОВИЧ является автором следующих патентов:
Реперный знак и способ совмещения рисунка маски с рисунком подложки
1. Реперный знак, содержащий выполненные на маске и подложке дифракционные решетки, о т л и гч а.ю щ и и с я тем, что, с целью повышения точности и производительности процесса совмещения, дифракционные решетки размещены в виде квадрата на подложке и квадрата меньшего размера на маске, разделенных диагоналями на секторы, каждалй из которые содержит центральный и периферийный участ...
1046734