Викулина С.А.

 (19)SU(11)1047112(13)A1(51)  МПК 6    G03C7/28(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 27.12.2012 - прекратил действиеПошлина: (54) СОСТАВ ДЛЯ ОТБЕЛИВАНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов, фотографии и может быть использовано при изготовлении эмульсионных фотошаблонов методом обогащения...

 (19)SU(11)1080638(13)A1(51)  МПК 6    G03C1/72H01L21/312(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 27.12.2012 - прекратил действиеПошлина: (54) СОСТАВ ФОТОРЕЗИСТА Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано для получения микросхем методом фотолитографии. Точность воспроизведения размеров элементов из...

 Изобретение касается фоторезисторов и может быть использовано в микроэлектронике для получения микросхем фотолитографическим методом. Цель изобретения - сокращение времени проявления и расширение полезного интервала экспонирования. Композиция фоторезиста содержит (мас.%) светочувствительную компоненту на основе нафтохинондиазида 7 - 8; фенолформальдегидную смолу 12 - 13; 50%-ный водный ра...